快速问答
利用平面电容原理来测量半导体加工过程中PECVD晶圆镀膜工艺设备的平行度情况，无需与被侧物体直接接触，可以实时提供测量数据，测量速度快，可以实现±0.020mm的测量精度，最小识别距离分辨率为0.008mm.
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非接触 精度高 稳定性好 测量范围宽 响应速度快
磁悬浮智能输送系统是一款模块化，可自由拼接的六自由度磁悬浮智能机器人输送系统，有别于传统结构更加柔性、智能、灵活、精密。响应黑灯工厂概念，做到工厂无人化生产制造，降低成本减少损耗。
产品精度高于10µm 速度达到2m/s 最大加速度2g